Fundamental Principles of Optical Lithography - The Science of Microfabrication
- Título:
- Fundamental Principles of Optical Lithography - The Science of Microfabrication
- Materia:
- Electrical & Electronics Engineering
- Editor:
- Wiley-Interscience
- Descripción:
- 535 p.
- Identificadores:
- E-ISBN: 9780470018934 ISBN: 9780470723876
- Colección:
- Wiley